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Trek 645

如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称: Trek 645
产品型号:
产品展商: Trek / Advanced Energy
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简单介绍

软件驱动静电夹头电源,输出电压范围为0至±2 kV


Trek 645  的详细介绍
Trek 645描述
Trek® 645 软件驱动的静电夹头电源,具有有详细记录的历史,其效率和吞吐量是其他电源的三倍。Trek 645 多样化且值得信赖的性能允许在多种独特工具和工艺中使用,无需为设施中的每种独特工具或工艺指定新的电源。


Trek 645特色

• 可锁定前面板控制界面
• 每台设备均附带NIST可追溯校准证书
• 支持库仑和约翰森-拉贝克电阻技术
• 上传并存储静电夹头配置文件到设备,并通过用户友好的软件界面内部存储
• 晶圆检测包括无晶圆、晶圆存在或晶圆夹持状态


Trek 645优点

• 减少背面气体错误,提高通量,消除硅片粘性/爆裂问题
• 控制参数,如过电流、晶圆存在和晶圆钳位阈值、钳位电压、偏移电压以及内部或外部幅度/偏移控制
• 调整过程中的振幅/偏移及输出控制灵活性
• 通过后面板I/O、串行计算机命令或前面板控制控制输出
• 配置自定义钳制和减铁灯序列及波形


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