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UV 400 & UVR 400 Pyrometers

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产品名称: UV 400 & UVR 400 Pyrometers
产品型号:
产品展商: Impac / Advanced Energy
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简单介绍

用于基于GaN的MOCVD外延工艺的真正晶圆表面温度和反射仪，具有极短波长的数字火程计。温度范围为650至1300°C。


UV 400 & UVR 400 Pyrometers  的详细介绍
UV 400 & UVR 400 Pyrometers描述
UV 400和UVR 400系统专为基于GaN的MOCVD外延工艺设计，能够直接测量晶圆表面温度，这比传统的感应器/口袋温度测量有了显著提升，从而提高了良率。UVR 400更进一步，增加了一个635纳米的反射仪，测量速度为0.5 kHz，便于测量沉积厚度。这些系统重新定义了LED生产工艺的标准，结果显示了工艺温度与终端产品波长之间的可靠相关性。


UV 400 & UVR 400 Pyrometers特色

• 可靠的晶圆温度与PL波长相关
• 装置能承受氮气大气层和真空（<10毫巴）
• 温度范围内可调节子范围
• 利用真实光集计数仪器较小化测量噪声
• 采用PhotriX和同心光管选项的完整反应器温度控制解决方案

UV 400 & UVR 400 Pyrometers

• 通过准确的真实晶圆温度测量提高良率
• 使用紫外波长仪器直接测量氮化镓层的温度
• 获得可靠的晶圆温度与PL波长相关
• 利用快速脉冲光源实时捕捉反射率测量
• 防止近红外发射率补偿式耐热仪中出现的残渣温度振荡
• 防止因延迟采样导致的数据偏斜（无快门开关）


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