全部

110Vac & 220Vac

85 - 264 VAC; 120 - 300 VDC

90 - 264 VAC, 127 - 300 VDC

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3.21"*2.21"*1.13"

0.267*0.825*0.846

0.375*1.95*1.55

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光线温度传感器Luxtron

光线温度传感器Luxtron

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产品名称: 光线温度传感器Luxtron

产品型号: Luxtron m920

产品展商: Advanced Energy

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简单介绍

用于 OEM -100ºC 至 330ºC 的光纤温度传感系统 Advanced Energy 的 Luxtron 四通道 m924 和双通道 m922 半导体模块经过精心设计，可对蚀刻器和静电吸盘、腔室和其他设备等晶圆制造设备进行温度监测。混合和匹配组件可使用当前半导体 Luxtron 品牌 Fluoroptic 探头和光纤延长线内置校准表可匹配定制 AE 探头，实现高精度测量 *大可实现精度为 ±0.05°C（视探头而定)

光线温度传感器Luxtron 的详细介绍

完整的 Luxtron® m920 系列 OEM 解决方案采用电子模块组件制造，配备两个主板和探头。主板包含光纤温度传感通道、数字输出（RS232 ASCII 和 RS485 Modbus）和电源连接。模拟输出板安装在主板上方，提供 0 至 10 V 或 4 至 20 mA 输出。还可以选择金属外壳。

m920 系列系统采用 Fluoroptic® 技术。m920 系列主板可对来自 Fluoroptic 探头的测量信号进行调制，然后将校准的温度报告给 OEM 控制系统。

优点

为不同的蚀刻和晶圆制造过程实现高精度和高温范围
以快速采样率监测更快的斜坡条件
使用这种低噪声解决方案获得更**的温度测量结果
充分利用产品的出色可靠性，降低故障率
获得支持在全球范围内支持定制集成和探头设计

特点

双通道或四通道，借助 RS485 Modbus 可扩展至多达 64 通道
单 PCB 设计，具有模拟输出和金属外壳等选项
高电压、射频、等离子体和微波等不会对探头产生电磁干扰
可向后兼容 Advanced Energy 弹簧加载和 Accudisc 探头
可为半导体应用提供定制探头

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